激光干涉仪是最常使用的加工中心检测设备，它是精密长度测量和确立线位移精度的标准。

首先，新机床出厂前都要进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测，现在大多使用激光干涉仪进行。　　

其次，任何加工中心加工设备，在长时间的使用都会由于自身磨损或者其它一些原因造成加工超差的发生。立式加工中心也不列外，一般出现这种情况时，都要进行机床精度检测。机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损和其它原因,精度会逐渐丧失,这时需要使用激光干涉仪进行精度的再校准。　　

最后，激光干涉仪还可以进行其它项目的检测，例如直线度，垂直度，角度等。

采用激光干涉仪可以提供调整线位移位置的能力，以修正行程误差也就是节距误差。此外，许多新型的激光干涉仪能提供在两个正交方向的直线度修正和坐标正交性的修正。

　　误差修正常常是基于三维网格方式，它们是加工中心有效空间的一组点位。对网格中的每一个特定的X、Y和Z的点，给出一个修正值。对每一个点，误差综合成一个修正值就需要建立误差模型和进行计算，通过激光干涉仪可以轻而易举的进行修正。

　　如果一个控制器不能补偿立式加工中心的所有误差并且单独的线位移补偿不能提供期望的结果，其修正仍然可以实现，只要变换由标尺(编码器)系统提供给控制器的信息即可。这需要使用第二个控制器来实现，第二个控制器将会变换提供给基于误差模型分 析软件的立式加工中心原来控制器的机床标尺信息，不管怎样所得到的结果是相同的。

　　用激光系统来评定加工中心可以作快速和综合的分析，这些工作若用其它方法来做，将很耗费时间且又不经济。用激光测试仪误差模型软件分析数据降低了处理过程的复杂性，并可不断生产出合格工件。